一种基于印刷方式的柔性微纳压力传感器的制备方法

摘要

本发明涉及一种基于印刷方式的柔性微纳压力传感器的制备方法，所述方法对微纳层及导电层进行构建：微纳层通过将设计好的微纳图案的菲林片与聚丙烯腈薄膜进行曝光、显影处理得到具有微纳结构的固化感光胶，而未受到保护区域用能溶解薄膜的N,N‑二甲基甲酰胺进行半熔通刻蚀，再对其进行超声处理，清除固化的感光胶，得到具有凹凸结构的薄膜；导电层则通过液相法将多壁碳纳米管通过提拉方式附着在薄膜上，并采用两两相对进行器件组装。本方法通过简单的工艺、低廉的成本得到一种可控且操作简单的微纳结构，该方法增补了微纳传感器工艺方法研究的空白，对其实现大面积工业化柔性压力传感器的制造具有重要的研究及应用价值。