公开/公告号CN109174859A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 佛山市森昂生物科技有限公司;
申请/专利号CN201811044334.3
发明设计人 文珊;
申请日2018-09-07
分类号
代理机构
代理人
地址 528000 广东省佛山市禅城区祖庙街道朝安南路丰收街1座二层203X
入库时间 2024-02-19 06:45:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-12
实质审查的生效 IPC(主分类):B08B9/087 申请日:20180907
实质审查的生效
2019-01-11
公开
公开
机译: 基板清洗方法,基板清洗干燥方法,基板清洗装置以及基板清洗干燥装置
机译: 喷雾干燥装置中的喷嘴装置的清洗方法及实施该方法的喷雾干燥装置
机译: 喷雾干燥装置中的喷嘴装置的清洗方法及实施该方法的喷雾干燥装置