三维结构、制作三维结构的方法、及流体喷射装置

摘要

本发明提供一种用于处理流体的三维(“3D”)结构、一种包含所述三维结构的流体处理装置以及一种制作所述三维结构的方法。所述三维结构包括复合膜层。所述复合膜层包括第一光致抗蚀剂层及至少一第二光致抗蚀剂层。所述第一光致抗蚀剂层中包含第一光酸产生剂，所述第一光酸产生剂具有至少一第一辐射曝光波长。所述第二光致抗蚀剂层中具有第二光酸产生剂，所述第二光酸产生剂具有与所述第一辐射曝光波长不同的第二辐射曝光波长。所述复合膜层在所述第一光致抗蚀剂层与所述第二光致抗蚀剂层之间不具有粘附促进层。