一种非生产性晶圆清洗方法

摘要

本发明涉及一种非生产性晶圆清洗方法，包括以下步骤：S1：对非生产性晶圆进行颗粒度检测；S2：将颗粒度检测结果与一预设阈值进行对比，若所述颗粒度检测结果大于所述预设阈值，转入S3；S3：使用清洗剂对所述非生产性晶圆进行清洗；S4：将清洗后的所述非生产性晶圆进行颗粒度检测；步骤S5：将颗粒度检测结果与所述预设阈值进行对比，若所述颗粒度检测结果大于所述预设阈值，转入S3；S6：将所述非生产性晶圆回收使用；所述S3包括以下步骤：S31：使用有机混合试剂对所非生产性述晶圆进行清洗；S32：使用无机混合试剂对所述非生产性晶圆进行清洗。其优点在于，先后使用有机混合试剂和无机混合试剂进行清洗，有效去除颗粒，提高晶圆片的循环使用次数。