FABRICATION; HIGH TEMPERATURE ENVIRONMENTS; PRESSURE MEASUREMENT; PRESSURE SENSORS; SILICON; TECHNOLOGY ASSESSMENT; BONDING; SOI (SEMICONDUCTORS);
机译:具有低温直接晶圆粘合技术的电容式微机械超声换能器的制造
机译:温度对超高压压力传感器性能的影响
机译:高效输出压力性能采用电容式微机械超声换能器,具有基板嵌入式弹簧
机译:MEMS微机械技术基础上的高温SOI压力传感器
机译:用于宽压范围应用的通用电容式微机械超声换能器(CMUT)的永久接触模式操作
机译:基于空气的柔性压电微机械超声换能器的低温粘接结合制备。
机译:环形压电微机械超声换能器(PMUT)增加压力产生