机译:高效输出压力性能采用电容式微机械超声换能器,具有基板嵌入式弹簧
Korea Inst Sci &
Technol Ctr BioMicrosyst Seoul 02792 South Korea;
Stanford Univ Dept Elect Engn Stanford CA 94305 USA;
Hanyang Univ Dept Mech Engn Seoul 04763 South Korea;
Stanford Univ Dept Elect Engn Stanford CA 94305 USA;
capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUTs); substrate-embedded springs; nonflexural piston movement; high-efficiency output pressure;
机译:高效输出压力性能采用电容式微机械超声换能器,具有基板嵌入式弹簧
机译:电容式微机械超声换能器:在不同驱动参数和水下成像应用中的膜应力下的传输性能评估
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机译:晶片尺寸的带有衬底嵌入式弹簧的电容式微加工超声换能器的纳米硅柱的晶圆级制造。
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机译:使用带基板嵌入式弹簧的电容式微机械超声传感器实现高效输出压力性能
机译:用于超低压测量的电容式微机械超声换能器:理论研究
机译:通过调制辐射压力输出的超声波换能器功率输出(详细信息)。