Microelectromechanical systems; Microelectronics; Fabrication; Compressors; Vacuum pumps; Vacuum; Knudsen flow; Space exploration; Gas flow; Temperature gradients; Transpiration; Thermal analysis; Mass spectrometers; X ray spectrometers;
机译:Knudsen泵通过硅深rie,热氧化和片上真空泵的阳极粘接工艺生产
机译:干式真空泵技术优于精铸的油封泵:真空铸造炉为普通真空泵提供了至关重要的粉尘负荷。无油,干抽技术的应用可以解决问题
机译:使用多级Knudsen压缩机的新型热泵系统
机译:KNUDSEN压缩机在真空泵系统中的工程应用研究
机译:MEMS努森压缩机作为便携式和现场仪器的低功率真空泵的开发。
机译:考虑MEMS陀螺空间应用的热真空稳定性
机译:Knudsen泵在宇宙飞船推进器中的应用数值研究
机译:mEms Knudsen压缩机作为空间探测应用的真空泵