SILICON; GYROSCOPES; MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS; CAPACITANCE; DIELECTRICS; PATENTS;
机译:基于硅的集成光学压力传感器,在类似TM和类似TE的模式之间使用联模干涉
机译:使用硅兼容材料的基于有源干扰滤波器的颜色传感器
机译:基于有源干扰滤光片的颜色传感器,使用硅兼容材料
机译:通过用电焦极调节透镜调制物体照明对基于数字全息性的定量相位显微镜的寄生干扰和相干性扰动的影响
机译:使用纳米级硅基传感器检测和表征DNA的电子框架
机译:基于多模干涉波导的低损耗移相器硅光调制器
机译:基于GaN,GaAs和硅的气体传感器微机械自立式热板