Masking; Mask images; Microscopes; Pupil patterns; Reticle images; Printing tools;
机译:源极形状对EUV光刻中工艺窗口的影响
机译:白内障手术温度控制形状记忆瞳孔膨胀机的性能
机译:通过光学相干函数合成控制掺Er光纤中使用动态光栅的任意光谱形状的光学滤波器:仿真和实验
机译:EUV掩模成像显微镜中的瞳孔塑形和相干控制
机译:EUV光刻系统幅度和相位瞳孔变化的测量
机译:瞳孔跟踪光学相干断层扫描技术可精确控制瞳孔进入位置
机译:低斑点全息梁塑造高相干EUV源