Silicon Nitrides; Silicon Oxides; Meetings; Thin Films; Material Substitution; Integrated Circuits; Mechanical Structures; Hybrid Systems; Residual Stresses;
机译:氮化硅和氮氧化硅中间层对硅上五氧化钽薄膜性能的影响:X射线光电子能谱,X射线反射率和电容电压研究
机译:使用微结构表征溅射的氧氮化硅膜的杨氏模量和残余应力
机译:通过IC兼容牺牲层技术制造的微结构中的残余应力
机译:低残余应力氧氮化物用作牺牲层的性质
机译:化学计量和氢含量对硅和二氧化硅上氮化硅和氧氮化物层的物理和电学性质的影响的研究
机译:残余热应力对氮化硅基复合材料力学性能的影响
机译:氮化硅和氮氧化硅层的低压化学气相沉积及其在基于光波导的化学传感器中的应用