Dielectric materials; Radiation effects; Space environments; Microstructure; Irradiation; Radiation doses; Semiconductor devices; Electrons; Optical properties;
机译:等离子体暴露和真空紫外辐射对可光图案化的低k介电材料的影响
机译:以电子能量损失谱为特征的低k层间介电材料的介电响应
机译:电子束固化改进高性能低k介电材料的结构研究
机译:等离子体暴露对低k介电材料的影响
机译:用于微电子应用的聚合物材料的研究:低k电介质薄膜和倒装芯片底部填充密封剂。
机译:用于微和纳米电子应用的低k介电薄膜的热稳定性的宽带介电光谱表征
机译:通过杆EEL元素映射在超低k介电材料中表征碳耗尽期间的电子束损坏