Particle Beams; Laser Guidance; Electrons; Extreme Ultraviolet Radiation; Laser Radiation; ERDA/640301; Femtosecond pulses; Electron acceleration;
机译:激光生产的基于等离子体的极紫外光源技术,用于大批量制造极紫外光刻
机译:激光产生的锡等离子体极紫外光源中粒子速度的模拟
机译:通过使用包含二氧化锡(SnO_2)纳米粒子的可再生液体微喷射靶,低碎片,高效激光产生的等离子体极端紫外线源
机译:通过使用含锡纳米颗粒的可再生液体微靶,低碎片,高效激光产生的等离子体极端紫外线源
机译:强激光脉冲与液滴和团簇源的相互作用:在极端紫外光刻和等离子体波导生成中的应用。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:钛等离子体源,用于毛细管放电极紫外激光
机译:使用紫外准分子激光器进行相干极紫外生成和表面研究