Detectors; Shear stresses; Microelectromechanical systems; Measurement; Symposia;
机译:MEMS量热剪切应力传感器的静态和动态校准
机译:MEMS热剪切应力传感器,其结合了无基板结构和阳极键合技术
机译:基于MEMS的电容壁剪应力传感器的建模
机译:MEMS剪应力传感器:承诺与进步
机译:MEMS浮动元件传感器阵列,用于在湍流边界层下测量壁切应力。
机译:微型MEMS压力传感器的最新进展
机译:MEMS压阻外平面外剪切和正常应力传感器的建模与设计