Chemical reactions; Clean rooms; Cleaning; Electrical properties; Environments; Etching; Films; Heat; Integrated systems; Oxidation; Oxides; Processing; Quality; Roughness; Surface finishing; Thermochemistry; Transfer; Ultrahigh vacuum; Wafers; Reprints;
机译:通过阳极氧化对硅表面进行平滑,钝化和再钝化:低热预算工艺
机译:具有HfO_2 / TaN栅叠层和热氮化表面钝化的GaAs金属氧化物半导体器件
机译:储热条件下UHF RFID无源标签的可靠性和故障分析
机译:离子注入退火工艺在热氧化物后表面钝化中的协同应用
机译:利用高温热电材料氧化物和相关设备的热喷涂的集成工艺
机译:溶胶-凝胶法和溶剂热法联合制备叔丁基氧化铈制备的用于氧化CO的高表面积二氧化铈
机译:储热条件下UHF RFID无源标签的可靠性和故障分析
机译:热氧化物综合处理中的表面刻蚀和粗化。