机译:预测多孔硅低介电常数薄膜有效介电常数的模型
low dielectric constant; modeling; oxidation; porosity; porous silicon;
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机译:X射线光度法:表征适用于半导体工业的多孔低介电常数薄膜的新方法
机译:C_4F_8和Si_2H_6 / He用于低介电常数金属间层电介质的氟化非晶碳薄膜的等离子体化学气相沉积生长
机译:用于层间电介质的低介电常数新型周期性介孔有机硅薄膜
机译:使用正电子an没寿命光谱探测多孔低介电常数薄膜。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:用于描述老化的多孔硅低介电常数薄膜硬度变化的多层模型