法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-08-21
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C16/44 申请公布日:20091111 申请日:20090505
发明专利申请公布后的驳回
2010-01-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-11-11
公开
公开
机译: 致孔剂,致孔前驱体及其使用方法提供低介电常数的多孔有机硅玻璃薄膜
机译: 致孔剂,致孔前驱体及其使用方法提供低介电常数的多孔有机硅玻璃薄膜
机译: 致孔剂,致孔前驱体及其使用方法提供低介电常数的多孔有机硅玻璃薄膜