A method of locating dried residue ona semiconductor wafer in vapor phase decomposition-total-reflection X-ray fluorescence spectrometry by monitoring scattered X-ray

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• 来源
  《Spectrochimica Acta, Part B. Atomic Spectroscopy 》 |2001年第11期| 共8页
• 作者

  Yoshihiro Mori; Kenichi Uemura; Motoyuki Yamagami; Motoyuki Yamagami;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 原子光谱学 ; 分析化学 ;
• 关键词

  silicon wafer; total-reflection X-ray fluorescence (TXRF); vapor phase decomposition 9VPD); dried residue search; internal standard reference;

  机译：硅片;全反射X射线荧光（TXRF）;气相分解9VPD）;干燥残留物搜索;内标参考;