La Spectroscopic XPS et les Effets du Bombardement Ionique: Reduction des Couches Minces de Dioxyde de Titane Elaborees par Pulverisation Cathodique Radio Frequence

摘要

Le bombardement par un faisceau d'ions d'une surface est souvent utilise pour determiner le profil de la composition des materiaux en profondeur. Dans le present travail, nous etudions les effets du bombardement ionique sur des couches minces du dioxyde de tirane elaborees par pulverisation cathodique radio frequence, a l'aide de la spectroscopic de photoemission X. Le bombardement ionique des couches minces de dioxyde de tirane stoechiometrique par des ions d'argon d'energie cinetique 2keV, engendre la formation de sous oxydes de tirane: Ti{sub}2O{sub}3 et TrO et du tirane metallique Ti. On montre que le processus de reduction s'effectue suivant la reaction en chaine: TiO{sub}2→Ti{sub}2O{sub}3→TiO→Ti. Si le temps d'abrasion ionique augmente, les proportions relatives des sous oxydes formes croient et finissentpar atteindre des valeurs limites stationnaires. L'epaisseur maximale de la couche surfacique alteree est 30A.