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机译:压敏多晶硅膜的快速热加工-一种低成本低成本传感器制造的创新技术
Thermal processing; Piezoresistors; Polycrystalline silicon; Pressure sensors; Chemical vapor-deposition; Polysilicon films; Cvd;
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机译:通过脉冲快速热处理形成的多晶硅膜的结构特性
机译:具有集成放大器的压阻式压力传感器,使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
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机译:多晶硅研究:低成本硅精炼技术展望和半导体级多晶硅的可用性到1988年