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Fabrication of a Piezoresistive Barometric Pressure Sensor by a Silicon-on-Nothing Technology

机译：通过无硅无线技术制造压阻气压传感器

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Jiale Su; Xinwei Zhang; Guoping Zhou; Jianjian Gu; Changfeng Xia; Zai-Fa Zhou; Qing-An Huang;
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年度 2019
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1. Fabrication of a Piezoresistive Barometric Pressure Sensor by a Silicon-on-Nothing Technology [J] . Jiale Su, Xinwei Zhang, Guoping Zhou, Journal of Sensors . 2019,第Pta2期

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2. Fabrication of a Piezoresistive Barometric Pressure Sensor by a Silicon-on-Nothing Technology [J] . Jiale Su, Xinwei Zhang, Guoping Zhou, Journal of Sensors . 2019,第1期

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3. Optimized technology for the fabrication of piezoresistive pressure sensors [J] . Merlos A., Alvarez MD., Campabadal F., Journal of Micromechanics and Microengineering . 2000,第2期

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5. Design, simulation and fabrication of piezoresistive pressure sensors on flexible substrates. [D] . Shamanna, Vinayak K. 2005

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