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机译:MEMS / NEMS中的静电吸合不稳定性:综述
inherently; governing; understanding;
机译:MEMS / NEMS中的静电吸合不稳定性:综述
机译:基于静电碳纳米管的NEMS器件的非识别振动和拉伸分析
机译:使用改进的耦合应力理论对尺寸依赖性和分散力对静电悬臂NEMS引入不稳定性的影响进行建模
机译:压电层对静电驱动MEMS尺寸相关的拉入不稳定性分析的影响
机译:开发拉入式游离静电MEMS麦克风
机译:低力下MEMS和NEMS DC开关中接触电阻的不稳定性:外来膜在接触表面上的作用
机译:关于质量弹簧模型中动态吸合不稳定性的研究 静电驱动的mEms器件