机译:基于压电单压电晶片致动器的倾斜-倾斜-活塞微镜,具有高填充系数和小倾斜度和侧向位移
Lateral shift free (LSF); Lead zirconate titanate (PZT); Micromirror; Piezoelectric actuator; Tip-tilt-pison (TTP);
机译:基于压电单压电晶片致动器的倾斜-倾斜-活塞微镜,具有高填充系数和小倾斜度和侧向位移
机译:带有无侧移对称压电致动器的倾斜活塞微镜
机译:带有双S形单压电晶片压电致动器的尖端倾斜活塞微镜
机译:带有折叠式PZT单压电晶片执行器的尖端倾斜活塞压电扫描微镜
机译:高填充因子,小尺寸MEMS微镜和微镜阵列的开发和应用。
机译:基于外部激光干涉仪的压电驱动移相器:设计控制和实验验证
机译:单身环形压电致动器在流体阀中的行为