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机译:使用反馈型正弦相位调制干涉仪进行实时表面轮廓测量
Feedback control; Real-time measurement; Surface profile; SPM interferometer;
机译:使用反馈型正弦相位调制干涉仪进行实时表面轮廓测量
机译:正弦相位调制干涉仪,用于实时表面轮廓测量
机译:用于实时表面轮廓测量的正弦调相激光二极管干涉仪
机译:正弦相位调制干涉仪,用于实时表面轮廓测量
机译:通过道路轮廓实时测量表面缺陷
机译:使用机械调制的光反馈干涉仪进行微悬臂梁位移测量
机译:对位移测量的激光二极管的强度调制不敏感的正弦相位调制干涉仪