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MSTAR: a submicrometer absolute metrology system

机译:MSTAR:亚微米绝对计量系统

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摘要

The Modulation Sideband Technology for Absolute Ranging (MSTAR) sensor permits absolute distance measurement with subnanometer accuracy, an improvement of 4 orders of magnitude over current techniques. The system uses fast phase modulators to resolve the integer cycle ambiguity of standard interferometers. The concept is described and demonstrated over target distances up to 1 m. The design can be extended to kilometer-scale separations.
机译:绝对测距调制边带技术(MSTAR)传感器可实现亚纳米精度的绝对距离测量,比当前技术提高了4个数量级。该系统使用快速相位调制器来解决标准干涉仪的整数周期模糊性。在最多1 m的目标距离上描述并演示了该概念。该设计可以扩展到千米级间隔。

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  • 来源
    《Optics Letters》 |2003年第11期|共3页
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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 光学;
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