NIST NEWS-ACCURACY OF THIN FILM DIMENSIONS

Michael Newman

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机译：NIST新闻-薄膜尺寸的准确性

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The thickness of gate dielectrics-the ultrathin insulating films that separate electrical gates and channels in transistore-is the smallest dimension to be measured on a chip.

机译：栅极电介质的厚度（将晶体管中的电栅极和沟道分开的超薄绝缘膜）是要在芯片上测量的最小尺寸。

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来源
《NCSL Newsletter》 |2002年第1期|共2页
作者
Michael Newman;
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作者单位

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类条例、规程、标准;冶金工业;
关键词
入库时间 2022-08-18 12:21:55

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