Dem Standard-Mangel ein Ende: Kolbenmanometer zur Messung sehr kleiner Drucke

摘要

In herkommlicher Bauform liegt der kleinste messbare Druck eines Kolbenmanometers bei einigen kPa (10 mbar) wegen des Eigengewichts von Kolben bzw. Zylinder. Nun wurde ein Gerat mit Kraftmesszelle entwickelt, das den Messbereich nach unten hin erweitert. Das Messen der Kraft, die aus dem Differenzialdruck eines statischen Kolbens resultiert, ubernimmt ein kraftbalancierter Massenkomparator. Somit ist eine Auflosung von bis zu 1 mPa (10{sup}(-5) mbar) und eine Messgenauigkeit von ±(5mPa+3×10{sup}(-5)p) moglich.