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机译:高角分辨率斜率测量偏折法,用于表征超精密反射X射线光学器件
x-ray optics; synchrotron optics; metrology; bimorph mirror; adaptive optics; NOM; slope error;
机译:高角分辨率斜率测量偏折法,用于表征超精密反射X射线光学器件
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