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机译:使用CMOS-MEMS技术制造的低压致动RF微机械开关
Micromechanical switches; CMOS; Post-process;
机译:使用CMOS-MEMS技术制造的低压致动RF微机械开关
机译:低压和低功耗RF MEMS系列以及由电磁和静电力共同驱动的并联开关
机译:多层松弛铁电聚合物致动器,用于低压操作,采用粘附介导的膜转移技术制造
机译:用于RF CMOS-MEMS开关的低激励电压设计
机译:用于射频应用的低激励电压K波段MEMS开关的设计和制造。
机译:可向低压和快速响应的RF-MEMS开关横向移动的三电极驱动器
机译:宽带低激励电压RF MEM开关的开发
机译:采用五级多晶硅surface211微加工技术制造的低压旋转执行器