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机译:可调谐的Fabry-Perot表面微机械干涉仪-实验和建模
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机译:通过表面微机械加工制造的可调谐三维立体Fabry-Perot等离子
机译:表面微加工Fabry-Perot可调滤光片
机译:表面微机械调节的电气和电静态驱动的电热和电静态致动
机译:表面微加工可调光电子器件。
机译:光谱法布里-珀罗干涉测量法在薄层基板中进行表面微加工的应力分布轮廓成像
机译:通过表面微加工制造的可调谐三维固体法布里 - 珀罗标准具