Kleinste Oberflachensensoren mittels MEMS-Technik

摘要

Neue Mikro- und Nanokraftsensoren werden mit Anwendungen auf der Sensor + Test 2011 in Nurnberg vorgestellt. In der Mikrosystemtechnik und der Nanotechnologie mussen geometrische Masse und Oberflacheneigenschaften mit hoher Genauigkeit erfasst werden. Wissenschaftler der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) haben ein komplettes Portfolio an MEMS-basierten Oberflachenmessgeraten entwickelt, mit denen sich kleinste Weglangenanderungen und Krafte auf einfache Weise messen lassen. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) werden heutzutage millionenfach eingesetzt.