IMEC fabriceert als eerste een geheugencircuit in 22-nanometer chiptechnologie met EUV-lithoegrafie

摘要

IMEC is er als eerste ter wereld in geslaagd om met Extreem Ultraviolet Lithografie (EUV) een functioneel SRAM-geheugencircuit te maken in 22-nanometer chiptechnologie. Terwijl de industrie chips voor consumentenelektronica produceert in 45nm technologie, toont IMEC hiermee dat het aan de top staat met zijn onderzoek & ontwikkeling van de volgende generaties chiptechnologieen. EUV-lithografie wordt nog niet in productie gebruikt. Een van de eerste EUV-preproductietoestellen ter wereld staat nu op IMEC om onderzoek te doen op de verdere verkleining van chiptechnologie.