Saubere Ergebnisse mit UV-Laserstrahlung

摘要

In der industriellen Mikrobearbeitung spielen Geschwindigkeit, Qualitat und Kosten eine wichtige Rolle. Daher hat die Europaische Union das Forschungsprojekt "Flame" (Flexible Laser Assisted Micro-Ma-chining) unterstutzt, mit dem Schwerpunkt, die flexible Mi-krobearbeitung mittels UV-Laserstrahlung als Alternative fur den chemischen Abtrag, die Lithographie und andere Mikro-bearbeitungsprozesse zu qualifizieren. Basierend auf den am LZH gewonnenen Erkenntnissen der Lasermikrobearbeitung unterschiedlichster Materialien, wie dunne Metallschichten, Polymere und Keramiken, konnten Projektpartner eine Bearbeitungsstation fur die flexible 3D-Mikrostrukturierung entwickeln.