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机译:掺入多孔质对PECVD法制备的低k SiCxNy薄膜孔形貌的影响
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机译:用DMDMOS / O-2前驱体制备的具有纳米孔结构的低k膜的电学表征
机译:氨结合四甲基硅烷基PECVD法制备氧化硅膜的阻气性能
机译:加热速率对甲基硅烷烷/孔胶杂交低k薄膜致致孔的行为和孔径的影响
机译:从低硅应用的有机硅薄膜中,超临界二氧化碳/共溶剂萃取成孔剂和表面活性剂模板的研究。
机译:氮气掺入对VHF PECVD沉积的富含Si的A-SiCx薄膜光学性质的影响
机译:四甲基硅烷基pECVD与氨合成氧化硅薄膜气体阻隔性能的影响
机译:使用X射线反射率的低k介电薄膜中的孔表征:X射线孔隙率测定法