Die neuen olfreien, mehrstufigen Walzkolbenpumpen der A4-Serie von Pfeiffer Vacuum bieten ein Saugvermogen von 100 bis 2.300 m~3/h. Diese energieeffizienten und zuverlassigen Pumpen sind ideal fur den Einsatz in an-spruchsvollen Prozessen der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Dank korrosionsresistenter Materialien und eines hohen Gasdurchsatzes ist die Pumpenserie beispielsweise optimal fur die Anwendung in CVD-Prozessen geeignet.
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