Silicon-on-insulator（SOI）構造デバイスと今後の課題

摘要

本論文では，SOI材料の歴史から始めて歴史的なデバイス応用の発展経緯と現代の課題について述べている．特に，SOI MOSFET固有の特徴である低消費電力化と動作の高速化の背景，短チャネル効果抑制の機構と課題などの現代的課題をはじめとして，SOIデバイスの将来を考えるための利害得失を主要なものについて整理している．最後にSOI基板の新しい活用形態についても触れている．