DLCを使いこなすためのDLC成膜の基礎

摘要

金型の母材の耐食性、耐付着性（防汚性）、耐摩耗性などが不足する場合に、それを補うのが表面処理の役割である。金型の使用環境は過酷化しており、表面処理としてハードコーティングが施されることはもはや稀ではない。表面の硬化処理としては、窒化や浸炭などもある。それらは母材の表面から拡散させた軽元素による化合物層や固溶層の形成によって硬化層を得るのに対して、ハードコーティングは堆積によって母材表面に硬質層を付加する。ハードコーティング材料のうち、炭素のアモルファス構造を主骨格とするものがダイヤモンドライクカーボン（DLC; Diamond-Like Carbon）と総称される。