リアクティブスパッタ法によるTaN_x薄膜抵抗体の作製と電極との接触抵抗の評価

摘要

L1/L2の二つの周波数を同時に受信可能なGPS受信機の実現を目的とし，トランスコンダクタ部を共通化したクワドラチャーミクサを用いたWeaver型のデュアルバンドイメージリジェクトミクサを提案する．このクワドラチャーミクサはLOの位相誤差を補償する効果があり，キャリブレーションや補償回路を追加することなくイメージリジュクト比（IMRR）が改善できる．0.25 μmCMOSプロセスを用いてデュアルバンドイメージリジェクトミクサの設計と試作を行い，1stLOのポリフェーズフィルタの精度で制限されるIMRRが41 dBから最大64 dBまでの改善を確認した．