X線ステレオ方式3次元X線観察装置

摘要

コンパクトでありながら、3D-X線ステレオ方式により、20層以上の多層基板やパワーデバイスの2層はんだ分離検査を実現する、コストパフォーマンスが高いオフラインX線自動観察装置。特徴は、①同社独自の「X線ステレオ方式」、②幾何学倍率1000倍、③3種のCT方式(V-CT、ななめCT、ステレオCT)を選択可能、など。