Surface characterization of micro-optical components by Foucault's knife-edge method: the case of a micromirror array

Frederic Zamkotsian; Kjetil Dohlen

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Surface characterization of micro-optical components by Foucault's knife-edge method: the case of a micromirror array

机译：用福柯的刀口法对微光学元件进行表面表征：以微镜阵列为例

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As micro-optical components are introduced into optical systems, accurate surface characterization becomes important. We describc a method for quantitative evaluation of surface deformations based on Foucault's knife-edge test. By measurement of local slopes, the surface shape of each mirror in a micromirror array has been reconstructed with a subnanomcter accuracy. In addition to low-order deformation (tilt, curvature, astigmatism), each mirror is seen to be palm-tree shaped. This may be explained by strain relaxtion in the fabrication process. Measurement on a conventional concave mirror confirms our method.

机译：随着微光学组件被引入光学系统，精确的表面表征变得重要。我们描述了一种基于福柯的刀口测试定量评估表面变形的方法。通过测量局部斜率，微镜阵列中每个镜的表面形状已经以亚纳米精度重建。除了低阶变形（倾斜，曲率，像散）外，每个反射镜都是棕榈树形的。这可以通过制造过程中的应变松弛来解释。在常规凹面镜上进行的测量证实了我们的方法。

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来源
《Applied optics》 |1999年第31期|共8页
作者
Frederic Zamkotsian; Kjetil Dohlen;
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正文语种 eng
中图分类光学;
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