投射电子显微镜、电子显微镜、样品表面观察法和微器件制造法

摘要

从阴极1发出的照明束4入射到偏转器3上。在对偏转器3施加电压的状态下，由偏转器3改变照明束4的光路；然后，照明束4穿过公共电子光学系统7，并对样品6的表面照明。在不对偏转器3施加电压的情况下，照明束4直接穿过偏转器3，并被电子吸收板17吸收。照明束4在穿过公共电子光学系统7时衰减，以致于该电子束4在到达样品6表面的时间点的能量接近于0eV。当照明束4入射到样品6上时，从样品6产生反射电子8。这些反射电子8穿过公共电子光学系统7，而且，在不对偏转器3施加电压的情况下，这些反射电子8穿过图像聚焦电子光学系统9，使得电子投射到MCP探测器10上。