半導体製造に有効な技術:高解像度·低コストを実現

摘要

ニッタは9月1日、兵庫県立大学（松井真二教授）と共同で、半導体製品の新たな製造方法として研究が進められているナノインプリント技術に、同社製品インテリマー（側鎖結晶性ポリマー）が適用できることを実証したと発表した。ナノインプリントとは、半導体製品製造工程において、現状のように露光装置を使用せずに微細加工を施す技術で、原版（モールド）に作成したパターンを製品上に塗布したレジスト（保護膜）に直接転写するもので、現状より高解像度化、低コスト化等が期待できる。