Dependencia con el espesor de las propiedades ferroelectricas de laminas con orientacion preferente sobre substratos basados en silicio

摘要

Se han preparado laminas de titanato de plomo modificado con lantano por una tecnica sol-gel, sobre dos tipos de substratos: A: Ti/Pt/Ti/(100)Si, recocido a 650 deg C, y B: Pt/TiO_2/(100)Si. Se han conseguido laminas con diferentes espesores mediante un proceso de sucesivo deposito y cristalizacion. El analisis por difraccion de rayos X muestra dos tipos de orientacion; /<001>/<100> para las laminas sobre el substrato A, y <001>/<100> para las laminas sobre el substrato B. La caracterizacion ferroelectrica de las laminas se ha realizado mediante el analisis de los ciclos de histeresis y las corrientes de conmutacion ferroelectrica, estudiandose el efecto del espesor y del tipo de orientacion preferente sobre estas propiedades. Los valores mas altos obtenidos de polarizacion remanente y polarizacion conmutable fueron respectivamente de P_r approx 35 muC/rm~2 y P_c approx 23 muC/cm~2.