分子クラスターイオンビームを用いたSIMS分子イオン収率の増加

摘要

飛行時間型（TimeofFlight；ToF）質量分析器を用いた二次イオン質量分析（ToF－SmIS）では全イオンを同時に測定することができるため，一次イオン照射量を表面を構成する分子の数よりも十分少ない量にすることで表面に存在する有機分子の構造をある程度保った状態の二次イオンを検出することができる（Static－SIMS；S-SIMS）。特に近年，SIMSの一次イオンとしてアルゴン（Ar）クラスターなど数百～数千個の原子から成るクラスターのイオンビームが実用化されたことで，より高質量のフラグメントイオンや分子イオンが検出可能になっており，ToF-SIMSは生物試料や有機材科の分析に対する強力な手段となっている。最近では，微細な一次イオンビームを用いて試料をスキャンすることで，生物組織試料中の生体分子の化学イメージングも可能となってきている。