クラスターイオンビームを用いたTOF－SIMSによる生体組織·生体分子評価とデータ解析

摘要

飛行時間形二次イオン質量分析（time-of-flight secondary ion mass spectrometry：TOF－SIMS）に極めてソフトなスパッタリングが可能なC_(60)やArクラスター,水クラスターなどの巨大クラスターイオンが応用されるようになり，有機材科から生体試料まで3次元分析，試料ダメージを極力抑えた最表面クリーニングやナノレベルでの深さ方向分析が可能となった。詳細な分子分布や化学情報の分布が分かる3次元化学イメージングは，生体組織·細胞の観察から，高機能性材料や超小型デバイスの開発·評価などさまざまな分野への応用が期待されている。現在，一次イオン源として最もよく用いられているBiクラスターイオンを用いると100nm程度以下の高い面分解能が得られ，深さ方向の分解能はArクラスターイオンビームをスパッタリングイオン源として用いると2．4nmの極めて薄い有機物層も検出できるほど高いことが報告されている。