半導体洗浄のための超純水

摘要

水は洗浄溶媒やリンス媒体等として，日常生活から産業分野まで広く利用されている。そして，各々の目的に応じて様々な種類の水が使用されている。特に，半導体デバイス製造を始めとする電子産業分野においては，製品歩留り·品質向上のために，水中の不純物を極限まで除去した「超純水（Ultrapurewater，UPW）」が使用されている。