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企業現場における表面と局所分析の現状と将来

机译:企业现场中的表面和局部分析的现状与未来

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摘要

計測分析データを人工知能(AI)やマテリアルズ·インフォマティクス(MI)などデータサイエンスを活用するためには,できるだけ正しいデータを使うことが課題解決の精度向上につながる。ここで正しいデータとは,繰り返し性(repeatability:同じ測定を繰り返して同じ値が得られる),再現性(reproducibility:別の日,別の人が測定しても同じ値が得られる),信頼性(reliability:真値との違いの程度)の高いデータのことである。

著录项

  • 来源
    《表面と真空 》 |2022年第3期| 128-132| 共5页
  • 作者

    柳内克昭;

  • 作者单位

    TDK株式会社 品質保証本部 半導体解析センター;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 日语
  • 中图分类 542D0022;
  • 关键词

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