Изменение процесса структурообразования, фазового состава и механических свойств ионно-плазменных пленок TiN под влиянием тока дуги

摘要

Выявлено, что с увеличением тока дуги с 80 до 100 А максимальная температура пленки и скорость ее нагрева смещаются в область больших значений: 755 К и 15,2 К/мин, соответственно. Показано, что при повышении технологических, температурных условий и скорости формирования пленки очередность стадий ее формирования с основной кубической фазой (111)TiN, объемная доля которой уменьшается при многократном росте объемной доли гексагональной фазы TiN_(0.3) изменяется. Установлено, что с ростом толщины пленки неоднозначно изменяются степень преимущественной ориентации зерен и структурные характеристики пленки, оказывающие влияние на ее напряженное состояние. Установлены температурные условия структурных переходов от глобулярной, зернистой до упорядоченной столбчатой подструктуры пленки.