レジスト除去用プロセスを装備した半導体や液晶露光マスク洗浄装置（その3）－アルカリ洗浄薬によるマスク劣化について

摘要

この記事は、2011年12月号の同タイトル製品紹介に続く、（その3）である。今回は、アルカリ性マスク洗浄薬液によりマスクガラスやクロムパターンはいくらか溶解、エッチングされる。その程度について実験データで考察する。具体的には、ガラス面やクロムパターンへの侵食または、表面改質や透明度の劣化について検証してみた。このテーマは、マスクの寿命にかかわるので重要である。薬液選定、洗浄条件検討からライフを考慮したレシピ選定に参考になる。検証は、当社が推薦しているTRCシリーズ薬液で行い、当社とパーカーコーポレーションのラボで共同実施した。