X線検査装置＋解析装置、他

摘要

任意の角度から検査が可能なX線検 査装置＋解析装置。 主な特徴は、①広角照射マイクロフ ォーカスX線源を用いた高倍率、高解 像度のX線観察装置に自動検査モード を付属、②高倍率での不良解析装置に 自動プログラミング・検査判定モード を追加したことで、少量多品種検査に も対向可能.