X線検査装置、他

摘要

近年の半導体パッケージ、電子部品 /基板においては、高密度化、微細化が 進み、外観検査による不良解析に限界 が来ている。 それに伴い、X線装置を 使った品質システムの導入意識が高ま ってきた。 英DAGE（デイジ社）では、 本来X線装置に求められる要求目的（検 査・解析・開発ツールとしての調査機 能）と現在のニーズに応えるべく、ハ イレベルな解析機能をX線装置に折り 込んでいる。